DIN 50447-1995 半导体工艺材料的检验.用涡流法无接点测量半导体层的表面电阻

作者:标准资料网 时间:2024-04-28 15:38:32  浏览:9245   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Contactlessdeterminationoftheelectricalsheetresistanceofsemiconductorlayerswiththeeddy-currentmethod
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.用涡流法无接点测量半导体层的表面电阻
【标准号】:DIN50447-1995
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1995-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:涡流法;校正;电气试验;半导体工艺;试验;无损检验;定义;半导体器件;测量;半导体片;面积;半导体;材料;电学测量;涡流试验;电阻;半导体工程;材料试验
【英文主题词】:Area;Calibration;Definition;Definitions;Eddy-currentmethods;Eddy-currenttests;Electricalmeasurement;Electricalresistance;Electricaltesting;Materials;Materialstesting;Measurement;Non-destructivetesting;Semiconductordevices;Semiconductorengineering;Semiconductorslices;Semiconductortechnology;Semiconductors;Testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语