JIS H0613-1978 切制硅片及磨光硅片的目视检查

作者:标准资料网 时间:2024-04-30 00:16:15  浏览:8065   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Visualinspectionforslicedandlappedsiliconwafers
【原文标准名称】:切制硅片及磨光硅片的目视检查
【标准号】:JISH0613-1978
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:1978-01-01
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonElectronics
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:衬底(绝缘);外观检查(试验);膜(物态);无损检验;硅;准金属;薄膜;检验
【英文主题词】:visualinspection(testing);non-destructivetesting;inspection;;;;thinfilms;
【摘要】:この規格は,シリコンのスライス又はラッしたウエーハ(以下,ウエーハという。)の外観検査について規定する。
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:29_045;77_120_99
【页数】:4P;A4
【正文语种】:日语